Optická emisní spektroskopie pro diagnostiku nízkoteplotního plazmatu - Čižmárik, Filip (Jihočeská univerzita, 2016)
Tato bakalářská práce je zaměřena na neinvazivní diagnostickou metodu optickou emisní spektroskopii pro diagnostiku nízkoteplotního plazmatu. Hlavním cílem této práce je implementace OES do experimentů vysoko-výkonového pulzního magnetronového naprašování tenkých vrstev, základní diagnostika nízkoteplotních plazmatických výbojů a následné zpracování a vyhodnocení naměřených dat. V rámci práce byly snímány spektrální čáry Ar+, Ti+, Ti, O v časově-rozlišeném měření. Byla sledována jejich intenzita v závislosti na průtoku reaktivního plynu O2 do depoziční komory a zda byla tato měření provedena za přítomnosti surfatronového výboje, či nikoli.
Optical emission spectroscopy as a diagnostic low-temperature plasma