Sondová diagnostika nízkoteplotního plazmatu při depozičním procesu - Kozlová, Miroslava (Jihočeská univerzita, 2018)
Tato magisterská práce se věnuje zjišťování parametrů nízkoteplotního plazmatu využívaného při depozici tenké vrstvy ITO pomocí sondové diagnostiky. Práce je rozdělena na část teoretickou, ve které jsou vysvětleny základní parametry nízkoteplotního plazmatu, princip sondové diagnostiky a teorie užívané pro její vyhodnocování, a část praktickou, kde jsou zpracovány výsledky provedeného měření v závislosti na změnách depozičních podmínek.
Probe diagnostic of low temperature plasma during the deposition process
Keywords: sondová diagnostika; fyzika plazmatu; depozice tenkých vrstev; probe diagnostics; plasma physics; deposition of thin layers