Magnetronové naprašování senzoricky aktivních nanostruktur na bázi plazmonických materiálů - Horák, Alexej (Jihočeská univerzita, 2023)
Tato práce se zabývá studiem vlivu kovových či kovům podobných nanočástic na optické a elektrochemické senzorické vlastnosti tenkých vrstev cínem dopovaného oxidu inditého (ITO). Teoretická část se věnuje přípravě tenkých vrstev a nanočástic metodou magnetronového naprašování a senzorickým vlastnostem tenkých vrstev a nanočástic. V rámci experimentální části byly tenké ITO vrstvy připravené na planárních skleněných substrátec metodou vysokofrekvenčního magnetronového naprašování upraveny různým množstvím Ag nanoclusterů připravených metodou DC magnetronového naprašování v agregační komoře chlazené kapalným dusíkem nebo ZrN nanoostrůvků připravených metodou reaktivního vysokovýkonného pulzního magnetronového naprašování. Měřeními ztrátové rezonance a cyklické voltametrie byly srovnány senzorické vlastnosti tenkých ITO vrstev před a po depozici nanočástic. Za účelem stabilizace nanočástic byla část vzorků dodatečně pokryta ITO vrstvou nebo žíhána. Stabilita nanočástic a metody stabilizace nanočástic byly posuzovány na základě měření mikroskopie atomárních sil a měření transmisních optických vlastností, kde bylo využito jevu lokalizované povrchové plazmonové reozonance. Pro potřeby provedených měření byla vyrobena opto-elektrochemická cela.
Magnetron sputtering of sensing nanostructures on the basis of plasmonic materials
Keywords: tenké vrstvy; nanočástice; senzory; LMR; CV; magnetronové naprašování; nízkoteplotní plazma; thin films; nanoparticles; sensors; LMR; CV; magnetron sputtering; low-temperature plasma