Návrh a konstrukce řídících subjednotek pro plazmovou aparaturu - Koudela, Zdeněk (Jihočeská univerzita, 2015)
Tato bakalářská práce je zaměřená na vývoj a realizaci řídící jednotky hmotnostních průtokoměrů pro laboratorní PVD aparaturu. Práce čtenáře krátce seznamuje s principem fyzikální depozice z plynné fáze a s principem činnosti hmotnostních průtokoměrů. Hlavní součástí práce je návrh a realizace vlastní řídící jednotky pro ovládání hmotnostních průtokoměrů Bronkhorst. Výstupem práce je samotná řídící jednotka, která bude instalována do PVD aparatury.
Design and construction of control subunits for plasma apparatus
Keywords: Arduino; fyzikální depozice plynné z fáze; hmotnostní průtokoměry; Arduino; Physical vapor deposition; Mass flow meter