Prohlížení Kvalifikační práce dle autora "Cifreund, David"
-
Implementace vypařovacího systému pro depozice tenkých vrstev
Cifreund, David (Jihočeská univerzita, 2017)Bakalářská práce je zaměřena na dávkovací systém pro PECVD procesy v prostředí nízkoteplotního plazmatu. Klíčem úspěšných depozic je přesný a stabilní průtok prekurzoru do reaktoru, kde probíhají výboje různého druhu, ...