Prohlížení Kvalifikační práce dle předmětu "vacuum"
Zobrazují se záznamy 1-1 z 1
-
Implementace vypařovacího systému pro depozice tenkých vrstev
(Jihočeská univerzita, 2017)Bakalářská práce je zaměřena na dávkovací systém pro PECVD procesy v prostředí nízkoteplotního plazmatu. Klíčem úspěšných depozic je přesný a stabilní průtok prekurzoru do reaktoru, kde probíhají výboje různého druhu, ...