Speciální technická řešení ve vakuové technice

Abstract

Bakalářská práce je zaměřena na realizaci různých technických řešení pro mikrovlnnou plazmovou aparaturu. Teoretická část je zaměřena na vakuum a všeobecné pojmy, které s ním souvisí. Pozornost byla věnována například definici tlaku, tlaku a střední volné dráze, jednotkám tlaku a jejich převodu. V této části je uvedena také klasifikace vakua dle tlaku. Další části práce se zabývají získáváním vakua, včetně popisu rotační olejové a turbomolekulární vývěvy. Součástí práce je také popis plazmové mikrovlnné aparatury CX 22, která byla během realizace této práce využívána. Popsána je vakuová komora, systém čerpání plynů, systém zavádění plynů, dále mikrovlnný zdroj, výparník kapalných prekurzorů a míchací zařízení. V praktické části je uvedeno měření fyzikálních a technologických veličin. Tato část zahrnuje měření natékavosti aparatury a teploty substrátu během plazmového procesu. V další části jsou popsána speciální technická řešení, které navrhl autor práce. Mezi navržená technická řešení prezentována v této práci patří vakuová průchodka, systém vyhřívání potrubí výparníku, box výparníku kapalných prekurzorů, "gas ring" a tabletovací zařízení. Vakuová průchodka byla navržena pomocí 3D modelování a slouží pro připojení detekční techniky. Vyhřívání potrubí výparníku bylo zkonstruováno za účelem zvýšení kvality plazmového procesu. Box výparníku byl navržen pro udržení čistoty ovzduší v laboratoři. "Gas ring" byl rovněž navržen pomocí 3D modelování a slouží jako speciálně uzpůsobené potrubí pro přivedení par prekurzoru do blízkosti substrátu. Tabletovací zařízení bylo zkonstruováno pro unifikovanou přípravu tablet slisované práškové celulózy. Dále bylo rovněž zkonstruováno z dostupných vývěv vícestupňové čerpání, které napomáhalo k dosahování nižšího mezního tlaku.