Zobrazit minimální záznam

dc.contributor.advisorStraňák, Vítězslav
dc.contributor.authorSezemský, Petr
dc.date.accessioned2021-12-08T12:56:32Z
dc.date.available2021-12-08T12:56:32Z
dc.date.issued2017
dc.date.submitted2016-12-14
dc.identifier.urihttps://dspace.jcu.cz/handle/20.500.14390/33994
dc.language.isoeng
dc.publisherJihočeská univerzitacze
dc.rightsBez omezení
dc.subjectplasma dischargeeng
dc.subjectplasma diagnosticseng
dc.subjectsurface diagnosticseng
dc.subjectmagnetron sputteringeng
dc.subjectindium tin oxideeng
dc.subjectITOeng
dc.subjectelectrically conductive transparent oxideeng
dc.subjectoptical fibreeng
dc.titleDeposition of functional thin films by plasma processescze
dc.title.alternativeDeposition of functional thin films by plasma processeseng
dc.typediplomová prácecze
dc.identifier.stag41626
dc.description.abstract-translatedAn aim of this work is a research of a deposition process of indium tin oxide by plasma assisted methods. The thesis deals with plasma diagnostics, e.g. Langmuir probe diagnostics and optical emission spectroscopy, as well as describes experiments of film deposition including their diagnostics, e.g. absorption spectroscopy, X-ray diffractometry and atomic force microscopy.eng
dc.date.accepted2017-01-20
dc.description.departmentPřírodovědecká fakultacze
dc.thesis.degree-disciplineFyzikální měření a modelovánícze
dc.thesis.degree-grantorJihočeská univerzita. Přírodovědecká fakultacze
dc.thesis.degree-nameMgr.
dc.thesis.degree-programFyzikacze
dc.description.gradeDokončená práce s úspěšnou obhajoboucze
dc.contributor.refereeČada, Martin
dc.contributor.refereeHubička, Zdeněk


Soubory tohoto záznamu

Thumbnail
Thumbnail
Thumbnail
Thumbnail

Tento záznam se objevuje v

Zobrazit minimální záznam