Jednotka pro odpařování precursoru pro PE CVD aparaturu
Loading...
Date
Authors
Macků, Jana
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Jihočeská univerzita
Abstract
Cílem bakalářské práce je návrh a provedení elektricky vyhřívané jednotky pro řízené odpařování precursoru pro PECVD aparaturu. Práce obsahuje popis návrhu vypařovací jednotky a jejího praktického provedení. Experimentální měření charakteristik bylo provedeno v PECVD aparatuře. Takto byly určeny charakteristiky odpařovací jednotky pro umožnění jejího použití v laboratořích. Dále je poskytnuto srovnání s komerčně nabízenou termostaticky vyhhřívanou jednotkou.