Sestavení a diagnostika aparatury pro depozici titanoxidových vrstev

Abstract

Tato diplomová práce popisuje sestavení aparatury pro depozici tenkostěnných vrstev a diagnostiku jejich některých částí. V úvodní části této práce jsou zdůvodněny potřeby využití plasmatických procesů ve výrobě. Další kapitola pak popisuje podstatné části různých druhů výbojů. Praktická část se skládá z popsání jednotlivých komponent aparatury, jejich instalaci a podmínky aktivního režimu. Ve čtvrté kapitole pak vycházíme z experimentálně získaných dat, díky nimž pomocí statických metod interpretujeme dané vlastnosti specifické části aparatury.