Optická emisní spektroskopie pro diagnostiku nízkoteplotního plazmatu

Abstract

Tato bakalářská práce je zaměřena na neinvazivní diagnostickou metodu optickou emisní spektroskopii pro diagnostiku nízkoteplotního plazmatu. Hlavním cílem této práce je implementace OES do experimentů vysoko-výkonového pulzního magnetronového naprašování tenkých vrstev, základní diagnostika nízkoteplotních plazmatických výbojů a následné zpracování a vyhodnocení naměřených dat.

V rámci práce byly snímány spektrální čáry Ar+, Ti+, Ti, O v časově-rozlišeném měření. Byla sledována jejich intenzita v závislosti na průtoku reaktivního plynu O2 do depoziční komory a zda byla tato měření provedena za přítomnosti surfatronového výboje, či nikoli.