Metody depozice tenkých vrstev pomocí nízkoteplotního plazmatu

Abstract

Tato diplomová práce je zaměřena na popis vybraných metod nanášení tenkých vrstev pomocí nízkoteplotního plazmatu. V současné době existuje mnoho způsobů vytváření tenkých filmů a mnoho aplikací v nejrůznějších průmyslových odvětvích. V této práci je nejprve uveden stručný přehled nanášecích metod, chování plazmatu během nanášení a následně popis principu vybraných metod nanášení vzhledem k fyzikálním a chemickým procesům. Zmiňujeme též výhody a nevýhody popisovaných nanášecích technologií a několik konkrétních příkladů jejich využití. Práce by měla přispívat k celkovému přehledu moderních nanášecích technologií, jejich rozvoji a využití v současné době, popř. možnostech využití v budoucnosti.