dc.contributor.advisor | Špatenka, Petr | |
dc.contributor.author | Michalčík, Zdeněk | |
dc.date.accessioned | 2021-12-07T11:57:05Z | |
dc.date.available | 2021-12-07T11:57:05Z | |
dc.date.issued | 2008 | |
dc.date.submitted | 2008-05-12 | |
dc.identifier.uri | https://dspace.jcu.cz/handle/20.500.14390/26854 | |
dc.description.abstract | Tato diplomová práce popisuje sestavení aparatury pro depozici tenkostěnných vrstev a diagnostiku jejich některých částí. V úvodní části této práce jsou zdůvodněny potřeby využití plasmatických procesů ve výrobě. Další kapitola pak popisuje podstatné části různých druhů výbojů. Praktická část se skládá z popsání jednotlivých komponent aparatury, jejich instalaci a podmínky aktivního režimu. Ve čtvrté kapitole pak vycházíme z experimentálně získaných dat, díky nimž pomocí statických metod interpretujeme dané vlastnosti specifické části aparatury. | cze |
dc.format | 43 s. | |
dc.format | 43 s. | |
dc.language.iso | cze | |
dc.publisher | Jihočeská univerzita | cze |
dc.rights | Bez omezení | |
dc.title | Sestavení a diagnostika aparatury pro depozici titanoxidových vrstev | cze |
dc.title.alternative | The compilation and diagnosis of the device for the deposition of titan-oxide lays | eng |
dc.type | diplomová práce | cze |
dc.identifier.stag | 6575 | |
dc.description.abstract-translated | This diploma thesis describes compilation of device for deposition of thin-walled lays a diagnosis of some its parts. In the beginning part this thesis are given reason needs using plasma processes in the industry. Next capture describes main parts different kinds of discharges. Practical part is made of describing of particular components of device, instalation and conditions of their activation. At the last part of thesis we make classification of experimental dates due to statistic methods to better describing of the specific parts of the device. | eng |
dc.date.accepted | 2008-06-03 | |
dc.description.department | Pedagogická fakulta | cze |
dc.thesis.degree-discipline | M-F/SŠ | cze |
dc.thesis.degree-grantor | Jihočeská univerzita. Pedagogická fakulta | cze |
dc.thesis.degree-name | Mgr. | |
dc.thesis.degree-program | Učitelství pro střední školy | cze |
dc.description.grade | Dokončená práce s úspěšnou obhajobou | cze |
dc.contributor.referee | Blažek, Josef | |