Návrh a konstrukce řídících subjednotek pro plazmovou aparaturu
Abstrakt
Tato bakalářská práce je zaměřená na vývoj a realizaci řídící jednotky hmotnostních průtokoměrů pro laboratorní PVD aparaturu. Práce čtenáře krátce seznamuje s principem fyzikální depozice z plynné fáze a s principem činnosti hmotnostních průtokoměrů. Hlavní součástí práce je návrh a realizace vlastní řídící jednotky pro ovládání hmotnostních průtokoměrů Bronkhorst. Výstupem práce je samotná řídící jednotka, která bude instalována do PVD aparatury.