Příprava tenkých funkčních TCO vrstev a jejich analýza pro elektrochemickou senzoriku

Abstract

Cílem této práce byla studie, příprava a analýza tenkých vrstev ze skupiny vodivých oxidů, které jsou transparentní ve viditelné oblasti spektra, za účelem vytvoření elektrochemicky aktivních elektrod s víceúčelovým použitím. Vrstvy byly připraveny metodou magnetronového naprašování v nízkoteplotním plazmatu. Cínem dopovaný oxid inditý (ITO), který patří do výše zmíněné skupiny oxidů, byl deponován na křemíkové a skleněné substráty během různých depozičních podmínek. Hlavním úkolem této práce byla optimalizace depozičního procesu. Konkrétně bylo zkoumáno, jak elektrochemickou aktivitu připravených vrstev ovlivní tloušťka deponované vrstvy a ex-situ žíhání. Nicméně hlavní motivací výzkumu bylo zkoumání vlivu metod zaměřených na dodávání energie do deponované vrstvy, tj. vliv tlaku pracovního plynu, přítomnost in-situ žíhání během depozice a metoda napájení magnetronového výboje. K proměření elektrochemických vlastností vrstev byla provedena implementace systému měření cyklické voltametrie, jedné z nejrozšířenějších elektrochemických metod s vysokou citlivostí.