Funkční tenké vrstvy pro aplikace využívající pokročilé oxidační procesy
Abstrakt
Tato diplomová práce si klade za cíl optimalizaci procesu nanášení tenkých vrstev pro využití v pokročilých oxidačních procesech (AOP). V rámci práce byla nanesena řada TiOx vrstev. Pro tento proces byla užita fyzikální metoda naprašování PVD. Fotokatalytická aktivita deponovaných vrstev byla testována pomocí rozkladu organického barviva Acid Orange 7. Dále pak byla u vrstev analyzována morfologie povrchu (SEM) a tloušťka vrstev (profilometrie). Studium vytvořených vrstev bylo zaměřeno na souvislost mezi charakteristikou jednotlivých vrstev, depozičními parametry a fotokatalytickými vlastnostmi. Na základě těchto výsledků byly vrstvy aplikovány v systému využívající AOP pro rozklad organických chemických látek. První kapitoly diplomové práce jsou věnovány shrnutí dosavadních znalostí o fotokatalýze a jejich principech. Další kapitola je věnována teorii a metodám nanášení tenkých vrstev a shrnutí znalostí o nízkotlakých výbojích. V experimentální části jsou popsány jednotlivé komponenty aparatury. Dále se experimentální část zaměřuje na rozbor tvorby optimalizačního procesu nanášení tenkých vrstev na bázi oxidu titanu. Poslední kapitola práce obsahuje výsledky experimentů na základě kterých je navržen další postup výzkumu této problematiky.