Diagnostika a optimalizace nízkoteplotního magnetronového výboje pro nanášení bio-kompatibilních tenkých vrstev

Abstract

Tato bakalářská práce se věnuje zjišťování parametrů nízkoteplotního plazmatu využívaného při depozici bio kompatibilní nanostrukturované tenké vrstvy tvořené oxidy či nitridy titanu nebo zirkonu. Použité zdroje plazmatu jsou vyvážený magnetron a zdroj mikrovlnného plazmatu surfatron, diagnostické metody jsou Langmuirova sonda, QCM sonda a optická spektroskopie. Práce je rozdělena na část teoretickou, ve které jsou vysvětleny základní parametry plazmatu, jeho užití, vznik a princip sondové diagnostiky a na část praktickou, kde jsou prezentovány výsledky provedeného měření v závislosti na změnách depozičních podmínek.